
?中瑞祥熱偶真空計熱電偶真空計?關機與維護?
是基于氣體熱傳導原理與熱電效應實現真空度測量的儀器,核心原理與操作邏輯如下:?
一、核心工作原理
熱偶真空計屬于熱傳導真空計的一類,核心原理是利用?氣體熱傳導能力隨氣壓變化?的特性,結合熱電偶的熱電效應間接測量氣壓:
給規管內的加熱絲(鉑絲/鎢絲/鎳絲)通恒定電流,加熱絲產生的熱量會通過周圍氣體向外傳導;
氣壓越高,氣體分子密度越大,帶走的熱量越多,加熱絲平衡溫度越低;反之氣壓越低,氣體導熱越少,加熱絲溫度越高;
熱電偶的熱端直接連接加熱絲,能將加熱絲的溫度變化轉化為熱電勢(電壓信號)變化;溫度越高,熱電勢越大,最后通過預先標定的?校準曲線?即可將熱電勢換算為對應氣壓值,實現真空度測量。
二、基礎操作使用要點
?使用前校準準備?:
接通電源預熱約10分鐘,將選擇開關調至“加熱"檔,調節加熱電流至規管標注的規定值(啟封電流),再切換到“測量"檔,可重復操作2-3次保證讀數穩定。
?測量與讀數?:
保持加熱電流恒定,待示數穩定后直接讀取毫伏表/顯示屏的數值,對照校準曲線得到實際氣壓;由于熱絲存在熱慣性,壓強變化后需稍作等待再讀數。
?關機與維護?:
測量結束后先關閉規管電源,再關泵;儀器長期使用需定期校準(找具備CNAS計量資質的機構),突然暴露大氣可能燒壞熱絲,需盡量避免。
三、適用測量范圍
受原理限制,熱偶真空計僅適用于?低真空到中真空?測量,常規測量范圍為 ?10?1Pa ~ 10?Pa?(典型常用區間是0.1~200Pa),高真空環境下氣體熱傳導效應極弱,測量誤差會顯著增大,不適用高精度測量。